Oxford Instruments sieht Wachstum bei schnellen Turnaround-Chips

Der Prozessausrüstungslieferant sagte, dass er eine wachsende Anzahl von Kunden sieht, die Halbleitergeräteforschung von Entwicklungs- und Pilotanlagen in kommerziell verfügbare Geräte umwandeln.

Paul Davies, Verkaufs- und Marketingdirektor von Oxford Instruments Plasma Technology schreibt:

"Wir haben mehr als 600 unserer High-Tech-Prozessmodule an führende Produktionsstandorte und mit steigender Nachfrage aus der Optoelektronik, Energie und anderen führenden Märkten geliefert."

Oxford Instruments nennt seinen Ansatz "Lab to Fab" und basiert auf konfigurierbaren Prozesswerkzeugen und -prozessen für kontrollierbares und wiederholbares Engineering von Mikro- und Nanostrukturen.

Die Prozesstechnologie unterstützt das Ätzen von nanometergroßen Strukturen, die Abscheidung von Nanoschichten und das kontrollierte Wachstum von Nanostrukturen.

Die Verarbeitungssysteme des Unternehmens verwenden plasmaunterstützte Abscheidung und Ätzung, Ionenstrahlabscheidung und Ätzen, Atomlagenabscheidung, tiefe Siliziumätzung und physikalische Gasphasenabscheidung.