Der erste EUV-Photoresist, der in Südkorea entwickelt wurde, bestanden den Zuverlässigkeitstest von Samsung

Südkoreanischer Photoresist-Lieferant Dongjin Semichem sagte, dass es kürzlich den EUV-Photoresist-Zuverlässigkeitstest von Samsung Electronics (qualifiziert) bestanden hat. Dieser Photoresist wird gemeinsam von beiden Parteien entwickelt, der die Situation bricht, dass der EUV-Photoresist von Südkoreas vollständig von Übersee-Lieferanten abhängig ist, und wird voraussichtlich in der ersten Hälfte des nächsten Jahres an Produktionslinien in Batches geliefert.

Laut Etnews-Berichten erklärten die Industriesiders, dass "Dongjin Semeken EUV-Photoresist auf seiner Hwaseong-Anlage in Gyeonggi-do entwickelte, auf der Hwaseong EUV-Produktionslinie von Samsung Electronics getestet und schließlich die Qualifikation erhielt." und fügte hinzu: "Die Zusammenarbeit zwischen den beiden Unternehmen hat EUV-Photoresists ermöglicht, schnell auf hoher Technologie entwickelt zu werden."

Es versteht sich, dass, obwohl KRF- und ARF-Fluorid-Prozess-Photoresists in Südkorea massenproduziert wurden, kein EUV-Photoresist, der feinere Stromkreise zeichnen kann. Dies liegt daran, dass die Entwicklung sehr schwierig ist. Die in Korea verwendeten EUV-Photoresists werden aus Japan importiert.

Nachdem Japan den Exportbeschränkungen im Jahr 2019 eingeführt hatte, begann Dongjin Semecan seine eigene Infrastruktur, beispielsweise die bestehende Argonfluorid-Expositionsmaschine und die EUV-Ausstattung des belgischen Instituts für Halbleiter (IMEC), um den EUV-Photoresist lokalisieren zu können. Gleichzeitig bot Samsung eine EUV-Testumgebung und verbesserte die Qualität des Photoresists erfolgreich, so dass er erfolgreich angewendet werden kann.

Ob Samsung, ob Dongjin Semicons EUV-Photoresist auf seinen Halbleiterproduktionslinien sofort verwendet werden, bleibt abzuwarten. Normalerweise wird es nach dem Bestehen des Tests für die Massenproduktion verwendet. Daher sagen einige Leute voraus, dass es frühestens in der ersten Hälfte des nächsten Jahres geliefert wird.

Die beiden Parteien lehnten ab, um etnews zu kommentieren, ob EUV Photoresist-Zertifizierung bestanden hat. Eine Person aus Samsung sagte: "Es ist unmöglich, mit Partnern zu bestätigen, ob er die EUV-Photoresist-Überprüfung bestanden hat" und "Wir arbeiten hart, um Halbleitermaterialien, Teile und Geräte (Quellen) diversifizieren".