Koreanische Medien: Samsung erforscht neue Fokus-Ringmaterial für die Chip-Produktion

Der Fokusring ist eine Ware, die im Ätzprozess der Waferherstellung verwendet wird. Es hält den Wafer an Ort und Stelle, um die Plasmadichte aufrechtzuerhalten und eine Kontamination der Waferseiten zu verhindern.

In der Vergangenheit wurden Quarz und Silizium verwendet, um Fokusringe herzustellen. Da jedoch die Verwendung von trockenem Ätzen über Nassätzen in der fortgeschrittenen Waferherstellung erhöht hat, hat dies jedoch die Notwendigkeit der Fokussieringe aus Siliziumkarbid (SIC).

SIC-Ringe sind dauerhafter und dauern länger als reine Siliziumringe, was Unternehmen hilft, die Produktionskosten zu senken. SIC-Ringe müssen alle 15 bis 20 Tage ersetzt werden, während Siliziumringe alle 10 bis 12 Tage ersetzt werden müssen.

Samsung sucht jetzt nach Bor-Hartmetall (B4C), um SIC zu ersetzen. Der Tech-Riesen arbeitet derzeit mit Partnern mit B4C-TECHNOLOGEN, um Qualitätstests auf dem B4C-Fokusring durchzuführen, die Quellen sagten.

B4C ist schwieriger, was bedeutet, dass ihre Einheiten länger dauern.

Samsung muss jedoch Zuverlässigkeitsprobleme überwinden. In der aktuellen Stufe sind Partikel auf der Oberfläche des Rings aufgetaucht, die Quelle sagte.

Die Quelle sagte auch, dass Samsung auch die wirtschaftliche Durchführbarkeit des Ersetzens von SIC mit B4C messen muss.