Koreanische Medien: Koreanische lokale Unternehmen haben erhebliche Fortschritte in der EUV-Lithografietechnologie erzielt

Berichten von businesskorea zufolge haben lokale koreanische Unternehmen erhebliche Fortschritte in der EUV-Lithografietechnologie erzielt.

Der vom koreanischen Amt für geistiges Eigentum (KIPO) herausgegebene "Patentanmeldungsbericht in den letzten 10 Jahren (2011-2020)" zeigt, dass 2014 die Anzahl der beim koreanischen Amt für geistiges Eigentum (KIPO) eingereichten Patentanmeldungen im Zusammenhang mit EUV-Lithografie erreichte 88 im Jahr 2018 erreichte es 55 Stück und erreichte im Jahr 2019 50 Stück.

Insbesondere koreanische Unternehmen schließen schnell die Lücke zwischen ihrer Technologie für extreme Ultraviolettlithographie und ausländischen Unternehmen. Im Jahr 2019 wurden in Südkorea 40 Patentanmeldungen eingereicht, mehr als 10 ausländische Unternehmen. Dies ist das erste Mal, dass Südkorea mehr Patentanmeldungen einreicht als das Ausland. Im Jahr 2020 ist die Zahl der in Südkorea eingereichten Anträge mehr als doppelt so hoch wie im Ausland.

In den letzten 10 Jahren haben globale Unternehmen wie Samsung Electronics intensiv geforscht und entwickelt, um die Technologieführerschaft sicherzustellen. Vor kurzem haben Gießereiunternehmen begonnen, 5-nm-EUV-Lithografietechnologie zur Herstellung von Anwendungsprozessoren für Smartphones zu verwenden.

Aus Unternehmenssicht machten die sechs größten Unternehmen der Welt 59% der gesamten Patentanmeldungen aus, Carl Zeiss (Deutschland) 18%, Samsung Electronics (Südkorea) 15%, ASML (Niederlande) 11% und S & S Tech (Südkorea) ) 8%, TSMC (Taiwan, China) 6%, SK Hynix (Südkorea) 1%.

In Bezug auf spezifische technische Projekte entfielen 32% auf verfahrenstechnische Anwendungen, 31% auf Belichtungsgerätetechnologieanwendungen, 28% auf Maskentechnologieanwendungen und 9% auf andere Anwendungen. Auf dem Gebiet der Prozesstechnologie entfielen 39% auf Samsung Electronics und 15% auf TSMC. Auf dem Gebiet der Fotomasken entfallen 28% auf S & S-Technologie, 15% auf Hoya (Japan), 10% auf die Hanyang-Universität (Südkorea), 10% auf Asahi Glass (Japan) und 9% auf Samsung Electronics.