Die Genauigkeit wird um 30% erhöht! ASML New EUV Photolithographie wird als geplant geliefert

ASML 21 ergab einen Finanzbericht, dass der erste neue extreme UV-Telelarm-Maschine Twinscan NXE: 3600D dem Kunden an den Kunden geliefert wurde, verglichen mit der vorherigen Erzeugung von Produkten, die Modellproduktivität um 15% bis 20% stieg, und die Graviergenauigkeit wird verbessert . 30%.

ASML wurde im Geschäftsbericht 2019 offenbart, der eine neue Generation von extrem UV-Blitzgerät entwickelt, die auf 2022 oder 2025 versandt wurde. In dem Ertrag des dritten Quartals im letzten Jahr wird ASML auch den Versandplan auf 2021 vorantreiben.

Nach der vorherigen Medienspekulation wurden TSM- und Samsung-Prozesshandwerk auf 7nm und 5nm aufgerüstet. Der erste Twinscan NXE: 3600D wird voraussichtlich einer der beiden Gießerei eingereicht.

ASML ist auch in einem Finanzbericht, der die Produktionsanwendung von EUV in der Lagerindustrie erhöht, und wird drei Dram-Kunden unterstützen, um EUV in zukünftigen Prozessknoten zu importieren.

Es wird berichtet, dass ASML derzeit zwei Modelle im Verkauf von ultraviolettem Photolithographie und Twinscan NXE: 3400B und Twinscan NXE: 3400C ist, verwenden alle eine sehr ultraviolette Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm, bei 30mj / cm²-Belichtungsgeschwindigkeit Behandlung von 125 Stück, 170 Kristallkreisen.